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實驗室(shi)凈(jing)(jing)化潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)工程(cheng)潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)室(shi)(Clean Room)，亦稱(cheng)為(wei)無塵室(shi)或(huo)清凈(jing)(jing)室(shi)。它是污(wu)染控制的(de)基(ji)礎，沒有(you)潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)室(shi)，污(wu)染敏感零(ling)件不可能批量生產。在FED-STD-2里面，潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)室(shi)被定義為(wei)具(ju)備空氣過濾、分(fen)配(pei)、優化、構造材料和裝置的(de)房間，其中特定的(de)規則的(de)操作程(cheng)序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到(dao)適當的(de)微粒潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)度級別。 

簡介 

潔(jie)凈(jing)室是(shi)指將一定(ding)空間(jian)(jian)范圍內(nei)(nei)之(zhi)(zhi)空氣中的微粒子(zi)、有(you)害空氣、細菌等之(zhi)(zhi)污(wu)染物排除(chu)，并將室內(nei)(nei)之(zhi)(zhi)溫(wen)度(du)、潔(jie)凈(jing)度(du)、室內(nei)(nei)壓(ya)力、氣流速(su)度(du)與氣流分布、噪音(yin)振動及照明、靜電控(kong)制(zhi)在某一需求(qiu)范圍內(nei)(nei)，而所給(gei)予特別設計之(zhi)(zhi)房間(jian)(jian)。亦即(ji)是(shi)不論外在之(zhi)(zhi)空氣條件如何變化，其室內(nei)(nei)均(jun)能俱有(you)維持原先所設定(ding)要(yao)求(qiu)之(zhi)(zhi)潔(jie)凈(jing)度(du)、溫(wen)濕(shi)度(du)及壓(ya)力等性能之(zhi)(zhi)特性。 潔(jie)凈(jing)室最主要(yao)之(zhi)(zhi)作(zuo)用在于控(kong)制(zhi)產品（如硅芯片等）所接觸之(zhi)(zhi)大氣的潔(jie)凈(jing)度(du)日及溫(wen)濕(shi)度(du)，使產品能在一個良好之(zhi)(zhi)環(huan)境空間(jian)(jian)中生產、制(zhi)造(zao)，此空間(jian)(jian)我(wo)們稱之(zhi)(zhi)為潔(jie)凈(jing)室。

按照(zhao)國際(ji)慣例，無(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)凈化級(ji)(ji)別(bie)主要是根據每立方(fang)(fang)米空氣中(zhong)粒(li)子(zi)直徑(jing)大于(yu)(yu)劃分(fen)標(biao)準(zhun)的(de)(de)(de)粒(li)子(zi)數(shu)量(liang)來規(gui)定(ding)。也(ye)就(jiu)是說所謂無(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)并非100%沒有一(yi)點灰(hui)(hui)(hui)塵(chen)(chen)(chen)，而(er)是控制(zhi)(zhi)在一(yi)個(ge)非常微量(liang)的(de)(de)(de)單位上(shang)。當(dang)然這個(ge)標(biao)準(zhun)中(zhong)符合灰(hui)(hui)(hui)塵(chen)(chen)(chen)標(biao)準(zhun)的(de)(de)(de)顆粒(li)相對于(yu)(yu)我們常見的(de)(de)(de)灰(hui)(hui)(hui)塵(chen)(chen)(chen)已經是小的(de)(de)(de)微乎其微，但是對于(yu)(yu)光學(xue)構造而(er)言，哪怕是一(yi)點點的(de)(de)(de)灰(hui)(hui)(hui)塵(chen)(chen)(chen)都(dou)會產生(sheng)(sheng)非常大的(de)(de)(de)負面影響，所以(yi)在光學(xue)構造產品的(de)(de)(de)生(sheng)(sheng)產上(shang)，無(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)是必然的(de)(de)(de)要求。每立方(fang)(fang)米將(jiang)小于(yu)(yu)0.3微米粒(li)徑(jing)的(de)(de)(de)微塵(chen)(chen)(chen)數(shu)量(liang)控制(zhi)(zhi)在3500個(ge)以(yi)下(xia)，就(jiu)達到了國際(ji)無(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)標(biao)準(zhun)的(de)(de)(de)A級(ji)(ji)。芯(xin)片(pian)級(ji)(ji)生(sheng)(sheng)產加工的(de)(de)(de)無(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)標(biao)準(zhun)對于(yu)(yu)灰(hui)(hui)(hui)塵(chen)(chen)(chen)的(de)(de)(de)要求高(gao)(gao)于(yu)(yu)A級(ji)(ji)，這樣的(de)(de)(de)高(gao)(gao)標(biao)主要被應(ying)用在一(yi)些等級(ji)(ji)較高(gao)(gao)芯(xin)片(pian)生(sheng)(sheng)產上(shang)。0.5uM及以(yi)下(xia)的(de)(de)(de)微塵(chen)(chen)(chen)數(shu)量(liang)被嚴(yan)格控制(zhi)(zhi)在每立方(fang)(fang)英寸1000個(ge)以(yi)內，這也(ye)就(jiu)是業內俗(su)稱的(de)(de)(de)1K級(ji)(ji)別(bie)。

形(xing)態空態：已經建造完成(cheng)并可以投入使用的潔凈室(shi)（設施(shi)）。它具備所有有關的服務和功能。但(dan)是，在設施(shi)內(nei)沒有操作(zuo)人員(yuan)操作(zuo)的設備。

靜態：各(ge)種功能完備、設(she)(she)定(ding)安(an)裝妥當(dang)，可(ke)以按照設(she)(she)定(ding)使用(yong)或正在使用(yong)的潔凈室（設(she)(she)施），但是(shi)設(she)(she)施內沒有操作人員(yuan)。 

動態：處于正常使用(yong)的潔(jie)(jie)凈(jing)室(shi)，服務功能完善(shan)，有設備和人員；如果需要，可(ke)從事正常的工作。 單(dan)向(xiang)流(liu)(liu)(liu)（層流(liu)(liu)(liu)）潔(jie)(jie)凈(jing)室(shi)原(yuan)理 在潔(jie)(jie)凈(jing)室(shi)內，從送風(feng)(feng)口到回(hui)風(feng)(feng)口，氣流(liu)(liu)(liu)流(liu)(liu)(liu)經途中的斷(duan)(duan)面幾乎沒有什(shen)么(me)變化，加上進風(feng)(feng)靜壓箱和高效過濾(lv)器的均壓均流(liu)(liu)(liu)作用(yong)，全室(shi)斷(duan)(duan)面上的流(liu)(liu)(liu)速比(bi)較均勻，而至少在工作區內流(liu)(liu)(liu)線(xian)單(dan)向(xiang)平行(xing)，沒有渦流(liu)(liu)(liu)。這也就是單(dan)向(xiang)流(liu)(liu)(liu)潔(jie)(jie)凈(jing)室(shi)的三大特點。這里的流(liu)(liu)(liu)線(xian)單(dan)向(xiang)平行(xing)，是指時均流(liu)(liu)(liu)線(xian)彼此平行(xing)，方向(xiang)單(dan)一。 

單向流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)(jing)室(shi)的(de)(de)(de)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)態(tai)從(cong)雷諾數判(pan)斷是(shi)(shi)紊(wen)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)的(de)(de)(de)，所以所謂(wei)層(ceng)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)(jing)室(shi)的(de)(de)(de)層(ceng)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)和(he)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)體力學上的(de)(de)(de)層(ceng)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)是(shi)(shi)完全不同的(de)(de)(de)概念(nian)。因此(ci)，層(ceng)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)(jing)室(shi)這(zhe)(zhe)個(ge)(ge)名詞是(shi)(shi)不貼切的(de)(de)(de)，國外某些標準(zhun)和(he)文(wen)章(zhang)也指(zhi)(zhi)出(chu)這(zhe)(zhe)一點(dian)，例如英(ying)國標準(zhun)BS-5295就曾把所謂(wei)層(ceng)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)(jing)室(shi)定義為(wei)單向流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)(jing)室(shi)，只是(shi)(shi)照顧習慣在(zai)(zai)(zai)括號中(zhong)(zhong)注明為(wei)層(ceng)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)。前聯邦德國標準(zhun)VDl- 2083則用(yong)“非(fei)紊(wen)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)的(de)(de)(de)置換流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)”這(zhe)(zhe)一術(shu)語(yu)，并(bing)在(zai)(zai)(zai)注中(zhong)(zhong)指(zhi)(zhi)出(chu)，層(ceng)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)這(zhe)(zhe)一概念(nian)只是(shi)(shi)為(wei)了(le)區別早(zao)于層(ceng)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)(jing)室(shi)出(chu)現的(de)(de)(de)紊(wen)（亂）流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)(jing)室(shi)而(er)在(zai)(zai)(zai)當時采用(yong)的(de)(de)(de)習慣用(yong)語(yu)，“層(ceng)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)系(xi)統(tong)”的(de)(de)(de)確切意思并(bing)不是(shi)(shi)分(fen)層(ceng)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)動，而(er)是(shi)(shi)紊(wen)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)的(de)(de)(de)置換流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)，用(yong)本(ben)章(zhang)提到的(de)(de)(de)概念(nian)是(shi)(shi)紊(wen)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)的(de)(de)(de)漸變流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)。在(zai)(zai)(zai)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)體力學中(zhong)(zhong)，這(zhe)(zhe)種(zhong)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)動狀態(tai)也可稱平(ping)行流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)或單向流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)。1977年中(zhong)(zhong)國在(zai)(zai)(zai)《空氣潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)(jing)技術(shu)措施》中(zhong)(zhong)選用(yong)了(le)“平(ping)行流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)”這(zhe)(zhe)個(ge)(ge)術(shu)語(yu)，在(zai)(zai)(zai)該術(shu)語(yu)后面同時也指(zhi)(zhi)出(chu)習慣上稱“層(ceng)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)”。 

在單(dan)(dan)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)流(liu)(liu)(liu)(liu)潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)室(shi)內(nei)，干(gan)凈(jing)(jing)氣(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)(liu)不是一(yi)(yi)股(gu)或幾股(gu)，而是充滿全室(shi)斷(duan)面(mian)(mian)，所(suo)以(yi)(yi)這種(zhong)潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)室(shi)不是靠(kao)潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)氣(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)(liu)對(dui)室(shi)內(nei)臟空氣(qi)(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)摻混稀釋作(zuo)用，而是靠(kao)潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)氣(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)(liu)推出作(zuo)用將(jiang)室(shi)內(nei)臟空氣(qi)(qi)(qi)(qi)沿整個斷(duan)面(mian)(mian)排至(zhi)室(shi)外(wai)，達到凈(jing)(jing)化室(shi)內(nei)空氣(qi)(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)目的(de)(de)(de)(de)。所(suo)以(yi)(yi)，前聯邦(bang)德(de)國(guo)有(you)人稱(cheng)單(dan)(dan)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)流(liu)(liu)(liu)(liu)潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)室(shi)的(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)(liu)為(wei)“活(huo)塞(sai)流(liu)(liu)(liu)(liu)”、“平(ping)推流(liu)(liu)(liu)(liu)”前蘇聯稱(cheng)之為(wei)“被擠(ji)壓的(de)(de)(de)(de)弱空氣(qi)(qi)(qi)(qi)射(she)流(liu)(liu)(liu)(liu)”。干(gan)凈(jing)(jing)空氣(qi)(qi)(qi)(qi)就好比一(yi)(yi)個空氣(qi)(qi)(qi)(qi)活(huo)塞(sai)，沿著房間這個“氣(qi)(qi)(qi)(qi)缸”，向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)前（下(xia)(xia)）推進，而使塵(chen)粒只能前（下(xia)(xia)）進，沒(mei)有(you)返(fan)回，把原(yuan)有(you)的(de)(de)(de)(de)含塵(chen)濃度高的(de)(de)(de)(de)空氣(qi)(qi)(qi)(qi)擠(ji)壓出房間。 在單(dan)(dan)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)流(liu)(liu)(liu)(liu)潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)室(shi)以(yi)(yi)及單(dan)(dan)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)流(liu)(liu)(liu)(liu)凈(jing)(jing)化設(she)備中，可以(yi)(yi)發現(xian)沿壁(bi)的(de)(de)(de)(de)和(he)兩個過濾器(qi)搭接處(chu)下(xia)(xia)方的(de)(de)(de)(de)反(fan)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)氣(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)(liu)。這種(zhong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)(liu)將(jiang)把下(xia)(xia)方的(de)(de)(de)(de)污染(ran)傳輸到上部再送(song)下(xia)(xia)來，破壞了上述“活(huo)塞(sai)流(liu)(liu)(liu)(liu)”的(de)(de)(de)(de)狀態，危害(hai)極大。對(dui)于和(he)外(wai)界有(you)開口相通的(de)(de)(de)(de)局部凈(jing)(jing)化設(she)備，例如潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)工作(zuo)臺，這種(zhong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)(liu)將(jiang)引射(she)外(wai)界污染(ran)氣(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)(liu)，在設(she)計上一(yi)(yi)定要減(jian)小過濾器(qi)邊(bian)框(kuang)處(chu)所(suo)占的(de)(de)(de)(de)無效(xiao)面(mian)(mian)積(ji)，更要設(she)法使空間的(de)(de)(de)(de)壁(bi)面(mian)(mian)盡量接近過濾器(qi)有(you)效(xiao)迭風截面(mian)(mian)。